真空技術(shù)隨著越來越廣的應(yīng)用,遍及航空航天和軍工、光伏發(fā)電等領(lǐng)域,是工業(yè)體系不可或缺的重要技術(shù)。目前真空技術(shù)受到世界各國的重視,真空設(shè)備、技術(shù)、材料、配件等有著廣闊的市場前景。我國
真空設(shè)備行業(yè)每年以20%左右的速度增長,在國家重大項目工程的扶持中,國內(nèi)的真空技術(shù)產(chǎn)業(yè)已不能在質(zhì)上滿足市場要求。下面我們就三個重大產(chǎn)業(yè)對真空技術(shù)的需求做簡要概述:
冶金工業(yè):冶金工業(yè)需用到的真空技術(shù)包括鋼液真空處理、真空熔煉、真空感應(yīng)熔煉、感應(yīng)殼熔煉、真空電弧重熔等。其中,真空鋼液處理是冶金工業(yè)很重要的一方面。這項技術(shù)主要應(yīng)用于原子能工業(yè),宇宙空間技術(shù)、海洋鉆探技術(shù)、燃氣發(fā)動機技術(shù)、汽車工業(yè)、飛機制造業(yè)、高速列車等高技術(shù)工業(yè)中,對鋼中的某些元素進行控制和處理,對鋼鐵材料的壽命、可靠性提出了越來越高的要求。目前各種應(yīng)用行業(yè)擁有現(xiàn)代化的真空處理設(shè)備,大大降低了鋼中氮、氫、氧等雜質(zhì)的含量,處理水平也不斷提高。美、日、德等國已經(jīng)將此項技術(shù)作為國家標準,并對其軸承鋼、電工用鋼和優(yōu)質(zhì)大型鍛件采用100%的真空脫氣處理,完成現(xiàn)代化鋼鐵工業(yè)的基本要求。
電子與微電子工業(yè):微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來越小,集成度要求越來越高。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分,特別是超大規(guī)模集成電路的微細加工技術(shù),其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境,可見其發(fā)展對真空技術(shù)、裝備的依存性。目前,日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè),而當今的超大規(guī)模集成電路大約有3/4的工序需要有真空條件。
機械制造行業(yè):這是一個帶動性強、帶動作用廣的產(chǎn)業(yè),目前歐債危機的陰霾仍未散去,各國積極將機械制造產(chǎn)業(yè)作為提振經(jīng)濟的重點。它的技術(shù)應(yīng)用一般集中在真空熱處理、真空釬焊、真空涂層刀具等傳統(tǒng)領(lǐng)域。真空熱處理是指將真空技術(shù)與熱處理技術(shù)緊密結(jié)合的新型熱處理技術(shù)。它對工具、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命、加速化學熱處理的吸附和反應(yīng)過程等特點。另外,它本身工藝操作靈活、無公害的特點成為行業(yè)常用的處理手段。
中國真空網(wǎng)http://www.evacuum.cn/ 指出,以上我們只列舉了幾個傳統(tǒng)工業(yè),還有許多行業(yè)的發(fā)展離不開真空技術(shù)的推動。工業(yè)體系的發(fā)展運行與真空技術(shù)緊密相關(guān),行業(yè)的技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域還將繼續(xù)擴大,推進我國其他高新技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展。