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滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn),容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設(shè)備上。是抽除一般性氣體或含有少量可凝性蒸汽的氣體抽氣設(shè)備之一。